全自动应力仪的测量原理

　　LSM-9000LE全自动应力仪测量原理
测量方法采用固定圆偏光板，旋转检偏镜的方法。光线经过直线偏光+1/4波长板变成圆偏振光，放置有应力的样品，双折射的慢轴快轴间产生光程差，变成椭圆偏振光。然后旋转检偏镜，椭圆偏振光内，偏振光透射轴和平行光以直线偏振光方式通过。此时可以看到通过检偏镜的光强度依据光程差和慢轴方向随着检偏镜角度变化有所变化。全自动应力仪测量一次预定的四个角度有相机拍照，从各个角度的光强度得出偏振光状态（楕圆率和椭圆斜度）。
检测不放置样品和放置样品时，从各个偏光状态的不同，算出光程差的大小和慢轴方向。
塞纳蒙法是通过检测者旋转检偏镜，测量部位由z亮变成z暗的状态，定量检测光程差的检测方式。但是，一直是肉眼观测型，根据测量环境和测量者的不同，明亮度的判别会有偏差。另外，半自动测量的精度与肉眼观测相比有所改善，但是测量部位限于图像中特定的一部分。塞纳蒙法没法检测慢轴方向，只能参考感光色法推断。另外观测二次元分布的时候，长时间多次测量的结果有必要绘制图像。
本装置是在直线偏光板和1/4波长板组成的圆偏光板上放置样品的，可以直接开始测量。因此熟练者和初学者没区别，都可以简单进行光程差和慢轴方向的定量测量。另外，不仅可以测特定部位，使用内置CCD相机，每个像素单位都可以测量。因此光程差和慢轴方向可以在显示器上显示2次元图像，分布状态也可以一目了然。
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