场发射扫描电镜

钨灯丝扫描电镜(Tungsten Filament Scanning Electron Microscope，TFE-SEM)是一种常见的高分辨率成像技术。它利用高速电子扫描样品表面，可以得到样品表面的高分辨率像，常用于研究材料的形貌、微结构和成分等。

钨灯丝扫描电镜总发射电流以及束斑都比较大，抗干扰能力还有稳定性都比较好，低真空下能够对不导电样品无荷电成像，能够使用于形貌观察、显微结构分析以及断口形貌分析，在材料领域、地质领域、矿产领域、冶金领域、机械领域、化学领域、化工领域、物理领域、电子领域、生物领域以及医学等领域都有广泛的使用。

钨灯丝扫描电镜的主要功能包括形貌观察、成分分析、失效分析、应力分析和相分析等。这种设备利用高能电子束扫描样品表面，产生多种物理信号，如二次电子、背散射电子等，这些信号通过探测器收集并放大后，用于调制得到样品的显微图像。钨灯丝扫描电镜具有较大的总发射电流和束斑，具有较好的抗干扰能力和稳定性，适合在低真空环境下使用，甚至可以对不导电样品进行无荷电成像。钨灯丝扫描电镜还提供稳定的光源，满足不同的扫描模式下的成像需求，且具有较长的使用寿命，可以减少维护和升级成本。

经过对电子枪内的钨灯丝加高电压，让电子枪处于热激发的状态，在阳极作用下，处于热激发的电子枪就能够激发出电子束。通过扫描线圈磁场的操控，电子束在样品表面逐点扫描，激发出二次电子以及背散射电子等物理信号，通过探测器收集还有放大器放大之后，调制并得到图像。钨灯丝扫描电镜比较适合大量的常规检测。

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