场发射扫描电镜

SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。  
先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。  
电子枪类型高亮度肖特基场发射电子枪  
加速电压0.1kV~30kV  
分辨率1nm@15kV2.5nm@1kV  
样品台五轴全自动样品台  
放大倍率1~1,000,000x  
产品特点  
分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像  
高压隧道技术(SuperTunnel),在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证  
电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力  
电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品  
水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性  
磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换  
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