声扫显微镜

名称：声扫显微镜
型号：V-400E
产地：德国
应用：晶圆面处分层缺陷；锡球、晶圆、或填胶中的开裂；晶圆的倾斜；各种可能之孔洞（晶圆接合面、锡球、填胶…等）
产品应用：
声扫显微镜应用领域：
半导体电子行业：半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等;
材料行业：复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等；
生物医学：活体细胞动态研究、骨骼、血管的研究等
在失效分析中的应用：
晶圆面处分层缺陷
锡球、晶圆、或填胶中的开裂
晶圆的倾斜
各种可能之孔洞（晶圆接合面、锡球、填胶…等）
声扫显微镜的在失效分析中的优势：
非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构
可分层扫描、多层扫描
实施、直观的图像及分析
缺陷的测量及缺陷面积和数量统计
可显示材料内部的三维图像
对人体是没有伤害的
可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等）
主要参数：
-该型号显微镜系统是实验室、研发和工业生产线主流机型。
- 扫描速度z高可达：2000mm/s
- 与其它品牌机型相比扫描效率高30%
- z大扫描范围：400mm×400mm
- z小扫描范围：200μm×200μm
- 射频z大带宽：500MHz
- 新型FCT防误判探头
声扫显微镜
http://www.analysis-tech.net/SonList-1852446.html
https://www.chem17.com/st331269/erlist_1852446.html