微小气体流量控制器的结构组成

　　MFM/MFC330系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330依然能够保持稳定的流量控制。
我公司自主研发的MFC330微小气体流量控制器（以下简称MFC330），主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。采用优质的核心部件、高性能的处理器芯片、智能的控制算法及简洁直观的操作界面，使气体流量控制更加精准、稳定和简便，内置温度和压力传感器，采集气路温度、压力值外，进一步对气体流量控制进行温压补偿；支持多种通讯协议，可以方便高效的与电脑、PLC、工业触摸屏、单片机等进行通讯；具有多气体测量，高精度，高稳定性，极低零漂等特性。
MFC330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
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