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XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺) Z 线性精度: E1=(1.8+5L/1000)um (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可选5X镜头)
特征： - 测量范围：450 x 450 x 150 mm或 450 x 600 x150 mm - 50公斤承载力 - 亚微米的光栅尺分辨率 - 平台移动速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒 - 可选的X-Y无阻力线性马达驱动，平台速度400 mm/秒 - 误差映射：在XY平面非线性二维纠错 - 双重放大光学系统，固定镜头，内部放大1-4倍 - 可编程LED平台背光及同轴表面光照明 - 可编程多色（红、蓝、绿、复合白色）环形灯(PRL)选项 - TTL激光选项，具有自动聚焦和扫描功能 - 三角和共焦激光位移传感器选项 - SpectraProbeTM 高分辨率彩色传感器选项 - 先进的图像处理性能，快速、精确、稳健 - 双通道，数字式，1.4兆像素的单色相机; 4:1的比例 - 次像素精度： 1/10 - 1/50 pixel - 独立的Anthro Cart Operator工作站，90 x 90 x128 cm;40kg - 可选配一体式可调节高度的工作站活动臂及平台，上可放置平板显示器、键盘鼠标及周边设备 - 强大的测量软件和数据分析工具可供选择 - 平均无故障工作时间 MTBF ≥ 8,000 小时 Summit的应用范围包括： 半导体/电子 PCB板与Stencil 光罩 引线框，引线接合，柔性线路板，连接器 SMT元件贴装 锡膏/环氧数脂胶点 芯片载体和托盒 喷墨打印机墨盒 数据存储 磁盘介质基板 滑块和悬臂组(HGA) Wafer carriers and row bar pallets
精密注塑和机加工件 |
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